萍鄉(xiāng)市三聯(lián)環(huán)?；すこ逃邢薰?/title> <meta name="keywords" content="萍鄉(xiāng)市三聯(lián)環(huán)?；すこ逃邢薰?/> <meta name="description" content="論文主要以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對象，研究了白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性。由于不同材料薄膜的特性不同，所適用的測量方法也不同。半導(dǎo)體鍺膜具有折射率 "/> <meta name="viewport" content="width=device-width, initial-scale=1.0, maximum-scale=1.0,minimum-scale=1.0,user-scalable=0"> <meta name="renderer" content="webkit"> <meta http-equiv="X-UA-Compatible" content="IE=edge,chrome=1"> <meta name="format-detection" content="telephone=no"> <link rel="shortcut icon" type="image/x-icon" href="http://plasticsurgerycash.com/template/company/xyblue/staic/img/favicon.ico"/> <link rel="stylesheet" href="http://plasticsurgerycash.com/template/company/xyblue/staic/css/swiper.min.css" /> <link rel="stylesheet" href="http://plasticsurgerycash.com/template/company/xyblue/staic/css/show.css" /> <link rel="stylesheet" href="http://plasticsurgerycash.com/template/company/xyblue/staic/css/style.css" 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id="8gzv3zcq3zww" class="header2 pc-show"> <div id="8gzv3zcq3zww" class="container"> <div id="8gzv3zcq3zww" class="logo"> <span></span> </div> <div id="8gzv3zcq3zww" class="logo_txt"> <h3>萍鄉(xiāng)市三聯(lián)環(huán)?；すこ逃邢薰?/h3> <p>深耕行業(yè)多年是以技術(shù)創(chuàng)新為導(dǎo)向的行業(yè)知名企業(yè)。隨時響應(yīng)用戶需求，打造性能可靠的業(yè)界精品。</p> </div> </div> </div> <div id="8gzv3zcq3zww" class="slide pc-show"> <div id="8gzv3zcq3zww" class="nav2"> <div id="8gzv3zcq3zww" class="container"> <ul> <li id="8gzv3zcq3zww" class="on"><a href="http://plasticsurgerycash.com/">網(wǎng)站首頁</a></li> <li><a href="http://plasticsurgerycash.com/about/">關(guān)于我們</a></li> <li><a href="http://plasticsurgerycash.com/product_list/gongye.html">產(chǎn)品服務(wù)</a></li> <li><a href="http://plasticsurgerycash.com/newslist/news/">企業(yè)資訊</a></li> <li><a href="http://plasticsurgerycash.com/contact/" rel="nofollow">聯(lián)系方式</a></li> </ul> </div> </div> <div id="8gzv3zcq3zww" class="swiper-container"> <div id="8gzv3zcq3zww" class="swiper-wrapper"> <div id="8gzv3zcq3zww" class="swiper-slide"><a href="http://plasticsurgerycash.com/"><img src="http://plasticsurgerycash.com/template/company/xyblue/staic/images/banner.jpg"></a></div> <div id="8gzv3zcq3zww" class="swiper-slide"><a href="http://plasticsurgerycash.com/"><img src="http://plasticsurgerycash.com/template/company/xyblue/staic/images/banner2.jpg"></a></div> <div id="8gzv3zcq3zww" class="swiper-slide"><a href="http://plasticsurgerycash.com/"><img src="http://plasticsurgerycash.com/template/company/xyblue/staic/images/banner3.jpg"></a></div> </div> <div id="8gzv3zcq3zww" class="swiper-pagination"></div> </div> </div><div id="8gzv3zcq3zww" class="main" > <div id="8gzv3zcq3zww" class="container"> <div id="8gzv3zcq3zww" class="weizhi pc-show"> <img src="http://plasticsurgerycash.com/template/company/xyblue/staic/images/i_zy.png" > <a href="http://plasticsurgerycash.com/">首頁</a> > <a href="http://plasticsurgerycash.com/product_list/dianqi.html">電氣儀器</a> 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id="8gzv3zcq3zww" class="right_box m100"> <div id="8gzv3zcq3zww" class="type"> <i></i>內(nèi)容詳情 </div> <div id="8gzv3zcq3zww" class="detail"> <h1>常州原裝膜厚儀</h1> <p class="text-muted">發(fā)布時間：2025-02-06 03:55:13 來源：<a href="http://plasticsurgerycash.com/" target="_blank">萍鄉(xiāng)市三聯(lián)環(huán)?；すこ逃邢薰?/a> 閱覽次數(shù)：8924次 </p> <div id="8gzv3zcq3zww" class="content"><p style="text-indent:25px">論文主要以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對象，研究了白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性。由于不同材料薄膜的特性不同，所適用的測量方法也不同。半導(dǎo)體鍺膜具有折射率高，在通信波段（1550nm附近）不透明的特點，選擇采用白光干涉的測量方法；而厚度更薄的金膜的折射率為復(fù)數(shù)，且能激發(fā)明顯的表面等離子體效應(yīng)，因而可借助基于表面等離子體共振的測量方法；為了進一步改善測量的精度，論文還研究了外差干涉測量法，通過引入高精度的相位解調(diào)手段，檢測P光與S光之間的相位差提升厚度測量的精度。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度分布的測量和分析。常州原裝膜厚儀</p><p style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="常州原裝膜厚儀,膜厚儀" src="https://img01.71360.com/w3/6p3dge/20231101/ba8d925c411a846c2f97235868bd9860.png"></p><p style="text-indent:25px">根據(jù)以上分析可知，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點是：①能夠?qū)崿F(xiàn)測量；②抗干擾能力強，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動，光源的波長漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素無關(guān)；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān)；④結(jié)構(gòu)簡單，成本較低。但是，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償，所以掃描裝置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般是幾個微米，達到亞微米的分辨率，主要受機械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制。文獻[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54μm。當所測光程差較小時，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近，難以區(qū)分，此時時域解調(diào)方案的應(yīng)用受到限制。益陽品牌膜厚儀白光干涉膜厚測量技術(shù)是一種測量薄膜厚度的方法。</p><p style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="常州原裝膜厚儀,膜厚儀" src="https://img01.71360.com/w3/6p3dge/20231101/a0faa220384884c09efaa4fed669afee.png"></p><p style="text-indent:25px">白光干涉測量技術(shù)，也被稱為光學低相干干涉測量技術(shù)，使用的是低相干的寬譜光源，例如超輻射發(fā)光二極管、發(fā)光二極管等。同所有的光學干涉原理一樣，白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化，進而通過各種解調(diào)方案實現(xiàn)對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優(yōu)點是由于白光光源的相干長度很?。ㄒ话銥閹孜⒚椎綆资⒚字g），所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值，即中心條紋，與零光程差的位置對應(yīng)。中心零級干涉條紋的存在使測量有了一個可靠的位置的參考值，從而只用一個干涉儀即可實現(xiàn)對被測物理量的測量，克服了傳統(tǒng)干涉儀無法實現(xiàn)測量的缺點。同時，相比于其他測量技術(shù),白光干涉測量方法還具有對環(huán)境不敏感、抗干擾能力強、測量的動態(tài)范圍大、結(jié)構(gòu)簡單和成本低廉等優(yōu)點。目前，經(jīng)過幾十年的研究與發(fā)展，白光干涉技術(shù)在膜厚、壓力、溫度、應(yīng)變、位移等等測量領(lǐng)域已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用。</p><p style="text-indent:25px">針對靶丸自身獨特的特點及極端實驗條件需求，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜。如何精確地測定靶丸的光學參數(shù)，一直是激光聚變研究者非常關(guān)注的課題。由于光學測量方法具有無損、非接觸、測量效率高、操作簡便等優(yōu)越性，靶丸參數(shù)測量通常采用光學測量方式。常用的光學參數(shù)測量手段很多，目前，常用于測量靶丸幾何參數(shù)或光學參數(shù)的測量方法有白光干涉法、光學顯微干涉法、激光差動共焦法等。靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù)，因此，精密測量靶丸殼層折射率十分有意義。而常用的折射率測量方法[13]，如橢圓偏振法、折射率匹配法、白光光譜法、布儒斯特角法等。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對薄膜的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)測量。</p><p style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="常州原裝膜厚儀,膜厚儀" src="https://img01.71360.com/w3/6p3dge/20231101/c69332ec8cb7b68a265b3119d0fb51c2.png"></p><p style="text-indent:25px">基于表面等離子體共振傳感的測量方案，利用共振曲線的三個特征參量—共振角、半高寬和反射率小值，通過反演計算得到待測金屬薄膜的厚度。該測量方案可同時得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度，操作方法簡單。我們利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)，測得金膜在入射光波長分別為632.8nm和652.1nm時的共振曲線，由此得到金膜的厚度為55.2nm。由于該方案是一種強度測量方案，測量精度受環(huán)境影響較大，且測量結(jié)果存在多值性的問題，所以我們進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析，根據(jù)P光和S光之間相位差的變化實現(xiàn)厚度測量。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于光學通信中的薄膜透過率測量。安慶有哪些膜厚儀</p><p style="text-indent:25px">白光干涉膜厚測量技術(shù)可以對薄膜的厚度、反射率、折射率等光學參數(shù)進行測量。常州原裝膜厚儀</p><p style="text-indent:25px">靶丸殼層折射率、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實驗中非常關(guān)鍵的參數(shù)，精密測量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對ICF精密物理實驗研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微?。▉喓撩琢考墸?、結(jié)構(gòu)特殊（球形結(jié)構(gòu)）、測量精度要求高，如何實現(xiàn)靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中重要的研究內(nèi)容。本論文針對靶丸殼層折射率及厚度分布的精密測量需求，開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)研究。常州原裝膜厚儀</p></div> </div> <div id="8gzv3zcq3zww" 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