往復(fù)真空泵活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng),此時(shí)吸氣閥關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮,當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓力達(dá)到或稍大于一個(gè)大氣壓時(shí),排氣閥4被打開,將氣體排到大氣中,完成一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞再左向右運(yùn)動(dòng)時(shí),又重復(fù)前一循環(huán),如此反復(fù)下去,被抽容器內(nèi)達(dá)到某一穩(wěn)定的平衡壓力。為提高抽氣效率,一般在氣缸的兩端均設(shè)有吸氣閥和排氣閥,然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來。往復(fù)真空泵從安裝形式來分,有臥式往復(fù)真空泵及立式往復(fù)真空泵;從油潤(rùn)滑來分,有有油往復(fù)真空泵及無油往復(fù)真空泵。真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭。不銹鋼真空泵廠家
真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。目前,全球真空泵市場(chǎng)的年銷售額約20億美元,年增長(zhǎng)率在7%左右。我國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年),只相當(dāng)于美國(guó)公司一家真空泵的年銷售額。通過對(duì)全球真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出,各類真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),國(guó)產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗(yàn)證,有些泵還出口國(guó)外,得到國(guó)外用戶的認(rèn)可并受到好評(píng),應(yīng)該說我國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍然有著巨大的發(fā)展空間。干式螺桿真空泵水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。
液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。液環(huán)真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉(zhuǎn)液環(huán)和葉輪構(gòu)成,其結(jié)構(gòu)和工作原理與液環(huán)壓縮機(jī)相似。當(dāng)工作液體為水時(shí),稱水環(huán)式真空泵,水環(huán)真空泵是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670 Pa。
歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口,其價(jià)格十分昂貴。所以,我國(guó)應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的,可抽除易燃、易爆的氣體。
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子,通過同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類似,一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件,進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上,目前通用的是直連電機(jī),用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。真空泵的傳動(dòng)方式,真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。不銹鋼真空泵廠家
一般情況下,真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修。不銹鋼真空泵廠家
噴嘴是影響真空泵性能的重要部件,存在的問題有:噴嘴裝錯(cuò)、裝歪、堵塞、損壞、腐蝕和泄漏,不管采取何種預(yù)防措施,噴嘴的堵塞在所難免。一方面由于安裝蒸汽管道時(shí),管道中殘存的鐵屑及焊渣會(huì)堵塞噴嘴;另一方面,真空泵系統(tǒng)停用時(shí),蒸汽管道易生銹,銹斑在使用時(shí)掉落堵塞噴嘴。蒸汽的影響:我們常用的真空泵為蒸汽噴發(fā)真空泵,是以過飽滿水蒸汽為作業(yè)介質(zhì)的,蒸汽的狀況對(duì)泵的功能有決定性的影響。濕蒸汽不只影響泵的功能,還會(huì)腐蝕蒸汽噴嘴,添加泵的蒸汽用量,使泵的作業(yè)狀況變得不穩(wěn)定。不銹鋼真空泵廠家